掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子種類可分為三種:場發(fā)射電子、鎢絲和六硼化鑭。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時對針尖進行清洗，但局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不但連續(xù)工作時間長，還能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不但需要對樣品進行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進行分析，所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為普遍。電子顯微鏡中，對電子束進行折射的物質(zhì)為電場或磁場，中心對稱的磁場，其成像性質(zhì)和高斯透鏡幾何光學(xué)近似。臺式電子顯微鏡電子顯微鏡生產(chǎn)廠家

電子顯微鏡（ElectronMicroscope）是采用電子束為光源，照射固體材料，以電子束散射的電子為信號，主要用于對材料表面或內(nèi)部結(jié)構(gòu)形態(tài)形貌進行高分辨成像，包括透射電子顯微鏡（TEM）、掃描透射電子顯微鏡（STEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）。電子束轟擊固體樣品，在其表面或內(nèi)部發(fā)生散射時，各種散射信號被相應(yīng)探測器采集后，可直接或間接體現(xiàn)固體樣品在微觀區(qū)域獨特的物理化學(xué)信息，如透射電子（TE結(jié)構(gòu)形體，電子衍射，能量損失譜元素及價態(tài)特征），二次電子（SE形貌形態(tài)信息），背散射電子（BSE原子序數(shù)和相差異），特征X射線(EDX體相元素組分），俄歇電子（AE表面元素組分），陰極熒光（CL電子態(tài)信息），等離子激發(fā)（EELS元素及價態(tài)），電聲（電子通道反差）等。微觀物理化學(xué)結(jié)構(gòu)特征決定材料宏觀性能，對其開展精確分析意義重大。臺式電子顯微鏡電子顯微鏡生產(chǎn)廠家電子顯微鏡基于其低真空和環(huán)境掃描的SEM(ESEM)模式。

掃描電子顯微鏡可觀察試樣的各個區(qū)域的細節(jié)。試樣在樣品室中可動的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運動。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大(可大于20mm)，焦深大(比透射電子顯微鏡大10倍)，樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個自由度運動(即三度空間平移，三度空間旋轉(zhuǎn))，且可動范圍大，這對觀察不規(guī)則形狀試樣的各個區(qū)域細節(jié)帶來極大的方便。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有:俄歇電子(AuE)、二次電子(SE)、背散射電子(BSE)、X射線(特征X射線、連續(xù)X射線)、陰極熒光(CL)、吸收電子(AE)和透射電子(圖b)。每種電子信號的用途因作用深度而異。

掃描透射電子顯微鏡是指透射電子顯微鏡中有掃描附件者，尤其是指采用場發(fā)射電子作成的掃描透射電子顯微鏡。掃描透射電子顯微分析是綜合了掃描和普通透射電子分析的原理和特點而出現(xiàn)的一種新型分析方式。掃描透射電子顯微鏡是透射電子顯微鏡的一種發(fā)展。掃描線圈迫使電子探針在薄膜試樣上掃描，與掃描電子顯微鏡不同之處在于探測器置于試樣下方，探測器接受透射電子束流或彈性散射電子束流，經(jīng)放大后，在熒光屏上顯示與常規(guī)透射電子顯微鏡相對應(yīng)的掃描透射電子顯微鏡的明場像和暗場像。電子顯微鏡采用全開門式設(shè)計，耐用性和靈活性更高。

電子顯微鏡是使用電子來展示物件的內(nèi)部或表面的顯微鏡。高速的電子的波長比可見光的波長短（波粒二象性），而顯微鏡的分辨率受其使用的波長的限制，因此電子顯微鏡的理論分辨率（約0.1納米）遠高于光學(xué)顯微鏡的分辨率（約200納米）。透射電子顯微鏡（Transmissionelectronmicroscope，縮寫TEM），簡稱透射電鏡，是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像，影像將在放大、聚焦后在成像器件（如熒光屏、膠片、以及感光耦合組件）上顯示出來。掃描式電子顯微鏡不需要很薄的樣品，圖像有很強的立體感。臺式電子顯微鏡電子顯微鏡生產(chǎn)廠家

單就放大率而言，是指被觀察物體經(jīng)電子顯微鏡放大后，在同一方向上像的長度與物體實際長度的比值。臺式電子顯微鏡電子顯微鏡生產(chǎn)廠家

掃面電鏡成像，主要是根據(jù)接受器接受電子撞擊物體產(chǎn)生的二次電子信號，然后通過特定算法算出來的，其算出來的圖像。下面貼一張電子發(fā)射頭和周圍兩個接收的圖片：由于二次電子的產(chǎn)生量，跟樣品表面的起伏度有關(guān)，所以二次電子的立體感比較好。與此類似的還有散射電子信號，散射電子的產(chǎn)生量，跟樣品原子序數(shù)有關(guān)，所以根據(jù)檢測散射電子信號算出來的圖像其材料對比度更見清晰，能看出來觀測物體由幾種元素組成。這些都是能形成我們能直觀看到的圖像的。臺式電子顯微鏡電子顯微鏡生產(chǎn)廠家

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